Das Ringspalt-Plasmatron in der Vakuumbeschichtung - Stand und Entwicklungstendenzen

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Ausgewählte Forschungsergebnisse der Physik
1. Verfasser:	Schiller, Siegfried (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	1983
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Beschreibung
Beschreibung:	*16.2.1933, KM 16.6.1988 Sb. : N ; 1981, ; Heft 22, S. 43-66