Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten

München, Techn. Univ., Fak. f. Elektrotechn., Diss., 1983

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Obermeier, Ernst (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1983
Schlagworte:
Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:München, Techn. Univ., Fak. f. Elektrotechn., Diss., 1983