Chemomechanisches Polieren der (111)- und (100)-Oberflächen von InP

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Schlapp, Winfried (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Fuhrer, Ernst (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	Darmstadt Dt. Bundespost, Forschungsinst. beim FTZ 1978
Schriftenreihe:	Technischer Bericht / Deutsche Bundespost, Forschungsinstitut beim FTZ Forschungsgruppe FI 43 65 TBr 15
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