Chemomechanisches Polieren der (111)- und (100)-Oberflächen von InP
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Format: | UnknownFormat |
Veröffentlicht: |
Darmstadt
Dt. Bundespost, Forschungsinst. beim FTZ
1978
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Schriftenreihe: | Technischer Bericht / Deutsche Bundespost, Forschungsinstitut beim FTZ Forschungsgruppe FI 43
65 TBr 15 |
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Beschreibung: | 12 S 4 Ill. u. graph. Darst 30 cm |
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