Erzeugung grossflächiger Mikrostrukturen mittels Elektronenstrahlbelichtung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hersener, Jürgen (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ricker, Thomas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, Kernforschungszentrum 1978
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Forschungsbericht / Bundesministerium für Forschung und Technologie Technolog. Forschung u. Entwicklung Elektronik 78-18
Schlagworte:	s.Mikrostruktur ++ s.Elektronenstrahlbelichtung > Forschungsbericht > Elektronenmikroskopie
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Beschreibung
Beschreibung:	Literaturverz. S. 54 - 60
Beschreibung:	79 S Ill., graph. Darst 30 cm