Silicon material preparation and economical wafering methods

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Lutwack, Ralph (HerausgeberIn), Morrison, A. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Veröffentlicht: Park Ridge, N.J. Noyes Publ. 1984
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Beschreibung
Beschreibung:XVIII, 586 S
Ill., graph. Darst
ISBN:0815509901
0-8155-0990-1