Optische Emissionsspektroskopie zur Kontrolle und Analyse von Trockenätzprozessen für integrierte Siliziumschaltkreise

Berlin, Techn. Univ., Diss. : 1993

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Heinrich, Friedhelm (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	1993
Schlagworte:	Hochschulschrift > Integrierte Schaltung > Siliciumbauelement > Ionenstrahlätzen > Optische Strahlung > Emissionsspektroskopie > Plasmaätzen
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Berlin, Techn. Univ., Diss. : 1993
Beschreibung:	Mikroreprod. e. Ms. 121 Bl. : Ill., graph. Darst
Beschreibung:	2 Mikrofiche