Metall organic chemical vapor deposition of electronic ceramics symposium held November 29 - December 3, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A
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Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Pittsburgh, Pa.
MRS
1994
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Schriftenreihe: | Metal organic chemical vapor deposition of electronic ceramics
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Beschreibung: | Literaturangaben |
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Beschreibung: | XI, 366 S Ill., graph. Darst 24 cm |
ISBN: | 1558992340 1-55899-234-0 |