Metall organic chemical vapor deposition of electronic ceramics symposium held November 29 - December 3, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Metal Organic Chemical Vapor Deposition of Electronic Ceramics Symposium (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Desu, Seshu B. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. MRS 1994
Schriftenreihe:Metal organic chemical vapor deposition of electronic ceramics [1]
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:XI, 366 S
Ill., graph. Darst
24 cm
ISBN:1558992340
1-55899-234-0