Abscheidungskinetik und Eigenschaften von magnetrongesputterten ZrNx- [ZrNx-], NbNx- [NbNx-] und MoNx-Hartstoffschichten [MoNx-Hartstoffschichten]
Stuttgart, Univ., Diss. : 1989
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| Format: | UnknownFormat |
| Veröffentlicht: |
1989
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Tag hinzufügen | Zusammenfassung: | Stuttgart, Univ., Diss. : 1989 |
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| Beschreibung: | 121 S Ill., graph. Darst |