Beam processing technologies

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Einspruch, Norman G. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	San Diego u.a. Academic Pr. 1991
Schriftenreihe:	VLSI electronics, microstructure science 21
Schlagworte:	Integrated circuits > Elektronenröhre > Integrierte Schaltung > VLSI
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Beschreibung
Beschreibung:	XII, 546 S
ISBN:	012234121X 0-12-234121-X