Beiträge zur Entwicklung von Strukturübertragungsverfahren für eine 1,5-m-n-Kanal-Silizium-Gate-Technologie [Eins-fünf-my-m-n-Kanal-Silizium-Gate-Technologie]
Berlin, Akad. d. Wiss. d. DDR, Diss. A, 1988
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| Format: | UnknownFormat |
| Veröffentlicht: |
1988
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Tag hinzufügen | Zusammenfassung: | Berlin, Akad. d. Wiss. d. DDR, Diss. A, 1988 |
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| Beschreibung: | 67 Bl Ill., graph. Darst Thesen |