Entwicklung von neuartigen Halbleiter-Drucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten

München, Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik, Diss., 1983

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Obermeier, Ernst (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1983
Ausgabe:	[Mikrofiche-Ausg.]
Schlagworte:	Hochschulschrift
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