Entwicklung von neuartigen Halbleiter-Drucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten
München, Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik, Diss., 1983
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
1983
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| Ausgabe: | [Mikrofiche-Ausg.] |
| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Zusammenfassung: | München, Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik, Diss., 1983 |
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| Beschreibung: | Mikroprod. e. Ms. VI, 165 Bl. : Ill., graph. Darst |
| Beschreibung: | VI, 165 Bl 63, 1 graph. Darst. u. Ill |