Materials issues in silicon integrated circuit processing symposium held April 15 - 18, 1986, Palo Alto, California, USA

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	MRS (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Wittmer, Marc (HerausgeberIn), Stimmel, J. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pittsburgh, Pa. MRS 1986
Schriftenreihe:	Materials Research Society symposia proceedings 71
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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