Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A.

Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Osgood, R. M. (HerausgeberIn), Osgood, Richard M. (HerausgeberIn), Brueck, S. R. J. (BerichterstatterIn), Schlossberg, H. R. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York u.a. North-Holland 1983
Schriftenreihe:Materials Research Society symposia proceedings 17
Schlagworte:
Lasers > Industrial applications > Semiconductors > Congresses > Semiconductor devices. Production. Use of lasers > Konferenzschrift > Laserbearbeitung > Halbleiter > Lasertechnologie > Halbleitertechnologie
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:XIII, 298 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:0444007822
0-444-00782-2