Symposium: Physikalische Grundlagen zu Bauelementetechnologien der Mikroelektronik

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Akademie der Wissenschaften der DDR, Institut für Physik der Werkstoffbearbeitung (BerichterstatterIn), Halbleiterwerk, Frankfurt, Oder, VEB Kombinat Mikroelektronik, Erfurt (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Veröffentlicht: Frankfurt, Oder 1979
Schlagworte:
Konferenzschrift
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Beschreibung
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