Physical sputtering of single-element solids

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Behrisch, Rainer (BerichterstatterIn), Andersen, Hans Henrik (BerichterstatterIn), Wittmaack, Klaus (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin u.a. Springer 1981
Schriftenreihe:	Sputtering by particle bombardment 1 Topics in applied physics 47
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