Physical sputtering of single-element solids

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Behrisch, Rainer (BerichterstatterIn), Andersen, Hans Henrik (BerichterstatterIn), Wittmaack, Klaus (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin u.a. Springer 1981
Schriftenreihe:	Sputtering by particle bombardment 1 Topics in applied physics 47
Schlagworte:
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