Siliziumschichten auf Siliziumdioxid mittels Flüssigphasenepitaxie Herstellung und Charakterisierung von Schichtsystemen
Stuttgart, Univ., Fak. Physik, Diss., 1991
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
1991
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Zusammenfassung: | Stuttgart, Univ., Fak. Physik, Diss., 1991 |
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Beschreibung: | 132 S. graph. Darst. |