Siliziumschichten auf Siliziumdioxid mittels Flüssigphasenepitaxie Herstellung und Charakterisierung von Schichtsystemen

Stuttgart, Univ., Fak. Physik, Diss., 1991

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Bergmann, Ralf B. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1991
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Beschreibung
Zusammenfassung:Stuttgart, Univ., Fak. Physik, Diss., 1991
Beschreibung:132 S.
graph. Darst.