Neuere Entwicklungen der Silizium-Mikroelektronik

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Höfflinger, Bernd (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Opladen Westdt. Verl. 1991
Schriftenreihe:	Vorträge / Rheinisch-Westfälische Akademie der Wissenschaften N, Natur-, Ingenieur- und Wirtschaftswissenschaften 386
Schlagworte:	Microelectronics > Silicon > Silicium > Halbleitertechnologie > Mikroelektronik
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