Integrated circuits: chemical and physical processing developed from the winter symposium sponsored by the Division of Industrial and Engineering Chemistry of the American Chemical Society, University of California - Davis, March 26 - 27, 1984
Gespeichert in:
Körperschaft: | |
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Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Washington, DC
American Chemical Society
1985
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Schriftenreihe: | ACS symposium series
290 |
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Beschreibung: | Literaturangaben |
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Beschreibung: | IX, 348 S Ill., graph. Darst |
ISBN: | 0841209405 0-8412-0940-5 |