Integrated circuits: chemical and physical processing developed from the winter symposium sponsored by the Division of Industrial and Engineering Chemistry of the American Chemical Society, University of California - Davis, March 26 - 27, 1984

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: American Chemical Society Division of Industrial and Engineering Chemistry (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Stroeve, Pieter (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Washington, DC American Chemical Society 1985
Schriftenreihe:ACS symposium series 290
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:IX, 348 S
Ill., graph. Darst
ISBN:0841209405
0-8412-0940-5