Electron beam interactions with solids for microscopy, microanalysis and microlithography proceedings of the 1st Pfefferkorn Conference, held April 18 to 23, 1982, at Monterey, CA

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Scanning Electron Microscopy (BerichterstatterIn), National Science Foundation (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Kyser, David F. (HerausgeberIn), Niedrig, Heinz (BerichterstatterIn), Newbury, D. E. (HerausgeberIn), Shimizu, Ryuichi (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	AMF O'Hare, Ill. Scanning Electron Microscopy 1984
Schriftenreihe:	Proceedings of the Pfefferkorn Conference 1
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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