Glow discharge processes : sputtering and plasma etching

Glow discharge processes sputtering and plasma etching

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Chapman, Brian (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Chapman, Brian N. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York, NY u.a. Wiley 1980
Schriftenreihe:A Wiley interscience publication
Schlagworte:
Glow discharges > Plasma etching > Sputtering (Physics) > Glimmentladung > Sputtern > Plasmaätzen
Online Zugang:Publisher description
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