Glow discharge processes sputtering and plasma etching

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Chapman, Brian (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Chapman, Brian N. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY u.a. Wiley 1980
Schriftenreihe:	A Wiley interscience publication
Schlagworte:	Glow discharges > Plasma etching > Sputtering (Physics) > Glimmentladung > Sputtern > Plasmaätzen
Online Zugang:	Publisher description Table of Contents
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