Impurity doping processes in silicon

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Wang, Franklin F. Y. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. North-Holland 1981
Schriftenreihe:	Materials processing, theory and practices 2
Schlagworte:	Semiconductor devices. Silicon. Doping > Aufsatzsammlung > Dotierung > Silicium
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