Impurity doping processes in silicon

Impurity doping processes in silicon

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Wang, Franklin F. Y. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. North-Holland 1981
Schriftenreihe:Materials processing, theory and practices 2
Schlagworte:
Semiconductor devices. Silicon. Doping > Aufsatzsammlung > Dotierung > Silicium
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Beschreibung
Beschreibung:643 S
Ill., graph. Darst
ISBN:0444860959
0-444-86095-9