Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Höfflinger, Bernd (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Zimmer, Günter (VerfasserIn), Graf, Heinz G. (VerfasserIn), Graf, Heinz Gerd (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Opladen Westdeutscher Verlag 1982
Schriftenreihe:	Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen Fachgruppe Elektrotechnik/Optik 3133
Schlagworte:	Photodiode > Ionenimplantation > Getter > Getterung > MOS-Schaltung
Online Zugang:	Cover
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