Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden

Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Höfflinger, Bernd (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Zimmer, Günter (VerfasserIn), Graf, Heinz G. (VerfasserIn), Graf, Heinz Gerd (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Opladen Westdeutscher Verlag 1982
Schriftenreihe:Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen Fachgruppe Elektrotechnik/Optik 3133
Schlagworte:
Photodiode > Ionenimplantation > Getter > Getterung > MOS-Schaltung
Online Zugang:Cover
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Beschreibung
Beschreibung:42 S.
Ill.
ISBN:3531031333
3-531-03133-3