Entwicklung von Phosphin-Ersatzstoffen für Gasphasenepitaxie-Prozesse Abschlußbericht zum Projekt ; Projektlaufzeit: 01.10.1989-30.06.1991 ; Contract TK04520

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Heinrich-Hertz-Institut für Nachrichtentechnik Berlin GmbH (BerichterstatterIn), Preussag Pure Metals GmbH, Langelsheim (BerichterstatterIn), Institut für Anorganische und Analytische Chemie, Technische Universität Berlin (BerichterstatterIn), Institut für Festkörperphysik, Technische Universität Berlin (BerichterstatterIn), Deutschland Bundesministerium für Forschung und Technologie (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Reier, F. W. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	Berlin 1991
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