Light-controlled, electrochemical, anisotropoc etching of silicon [paper at] Transducers 91, San Francisco, 23.-27.06.91

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Voss, Ralf (VerfasserIn)
Körperschaft:	Unternehmensbereich Apparate, Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH (MBB), Ottobrunn (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Seidel, Helmut (VerfasserIn), Baumgärtel, H. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	München Zentrale Berichtsstelle, Technisch-wissenschaftliche Information, Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH 1991
Schriftenreihe:	MBB-Bericht. Z 91,368 OTN 033085
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