Hochleistungsreaktoren für die Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern Abschlußbericht

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Kirchmann, Rainer (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Matthes, Harald (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Heilbronn Telefunken Electronic 1991
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