Advanced techniques for integrated circuit processing 1 - 5 October 1990, Santa Clara, California ; proceedings
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Bellingham, Wash.
SPIE
1991
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Schriftenreihe: | SPIE proceedings series
1392 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Beschreibung: | Literaturangaben 1-5 October 1990, Santa Clara, California"--Vol. 1, t.p |
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Beschreibung: | X, 690 S Ill., graph. Darst 28 cm |
ISBN: | 0819404616 0-8194-0461-6 |