Advanced techniques for integrated circuit processing 1 - 5 October 1990, Santa Clara, California ; proceedings

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Bondur, James (HerausgeberIn), Turner, Terry R. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 1991
Schriftenreihe:SPIE proceedings series 1392
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
1-5 October 1990, Santa Clara, California"--Vol. 1, t.p
Beschreibung:X, 690 S
Ill., graph. Darst
28 cm
ISBN:0819404616
0-8194-0461-6