Untersuchungen zum Einsatz des reaktiven Ionen- und Ionenstrahlätzens zur Strukturierung in der Halbleitertechnologie
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| Format: | UnknownFormat |
| Veröffentlicht: |
Chemnitz
1991
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Chemnitz, TH, Fak. f. Naturwiss. u. Math., Diss. 1991 |
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| Beschreibung: | VI, 142 S., 5 S. Anh |