Die Gelpermeationschromatographie als Methode zur Resistanalytik in der Röntgentiefenlithographie

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Kadereit, Dietrich (VerfasserIn)
Körperschaft:	Physikalisches Institut, Universität Bonn (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	Bonn 1991
Schriftenreihe:	Physikalisches Institut, Universität Bonn. BONN-IR 91-22
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Beschreibung
Beschreibung:	Bonn, Univ., Mathemat.-Naturwiss. Fak., Diplomarb
Beschreibung:	43 S