Untersuchungen zum PECVD-Prozess unter dem Aspekt der Einzelscheibenverarbeitung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Borrmann, Michael (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	Dresden 1989
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Beschreibung
Beschreibung:	Dresden, TH, Fak. f. Elektrotechnik u. Elektronik, Diss. 1989
Beschreibung:	210 S Ill., graph. Darst