Double-bridge test structure for the evaluation of type, size, and density of spot defects

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Maly, Wojciech (VerfasserIn)
Körperschaft:	Carnegie Mellon University Center for Computer Aided Design (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Thomas, Michael E. (VerfasserIn), Chinn, Jeffrey Daniel (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pittsburgh, Pa. 1987
Schriftenreihe:	Research report / Carnegie-Mellon University, CMUCAD 87,2
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