Double-bridge test structure for the evaluation of type, size, and density of spot defects

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Maly, Wojciech (VerfasserIn)
Körperschaft: Carnegie Mellon University Center for Computer Aided Design (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Thomas, Michael E. (VerfasserIn), Chinn, Jeffrey Daniel (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. 1987
Schriftenreihe:Research report / Carnegie-Mellon University, CMUCAD 87,2
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Beschreibung
Beschreibung:53 S