Statistical control for VLSI fabrication process

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Mozumber, P. K. (VerfasserIn)
Körperschaft:	SRC-CMU Center for Computer-Aided Design, Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie-Mellon University (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Strojwas, A. J. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pittsburgh, Pa. 1987
Schriftenreihe:	Research report / Center for Computer-Aided Design, Carnegie-Mellon University 87,46
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