Excimerlaser Plasmachemie ; Teilvorhaben ; Abschlußbericht ; Contract 13EU0045

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hepp, M. (VerfasserIn)
Körperschaft: Battelle-Institut (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Stafast, H. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Frankfurt am Main 1990
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Beschreibung
Beschreibung:96 S.