Untersuchungen zum reaktiven DC-Hochratezerstäuben von Chrom-Silizium-Basismaterial im Argon-Sauerstoff-Gemisch zur industriellen Herstellung von partiell oxydierten Chrom-Silizium-Schichten
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| Format: | UnknownFormat |
| Veröffentlicht: |
Chemnitz
1990
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Chemnitz, TH, Fak. f. Math. u. Naturwiss., Diss. 1990 |
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| Beschreibung: | VI, 88 S., 6 S. Anh |