IEEE micro electro mechanical systems : proceedings ; an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and robots ; Travemünde, Germany, 4 February - 7 February 1992

IEEE micro electro mechanical systems proceedings ; an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and robots ; Travemünde, Germany, 4 February - 7 February 1992

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Institute of Electrical and Electronics Engineers (VerfasserIn), IEEE Robotics and Automation Society (BerichterstatterIn), Institute of Electrical and Electronics Engineers Germany Section (BerichterstatterIn), Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Benecke, Wolfgang (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Piscataway, NJ IEEE Service Center 1992
Schlagworte:
Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik
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Beschreibung
Beschreibung:IEEE catalog number 92CH3093-2
Includes bibliographical references
Beschreibung:XV, 237 S.
Ill., graph. Darst.
30 cm
ISBN:0780304977
0-7803-0497-7
0780304985
0-7803-0498-5
0780304993
0-7803-0499-3