Herstellung und Untersuchung von Tantaldisilizid für Leitbahnen und Gatekontakte integrierter Schaltungen
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| 1. Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Veröffentlicht: |
1986
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Hannover, Univ., Fak.f.Maschinenwesen, Diss. 1986 |
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| Beschreibung: | V, 119 S. 20,5 cm |