Untersuchungen zum Abtrag fluorhaltiger Glimmpolymerschichten in einer HF-Glimmentladung
Gespeichert in:
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| Format: | UnknownFormat |
| Veröffentlicht: |
Karl-Marx-Stadt
1984
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Karl-Marx-Stadt, Techn. Hochsch., Fak. für Mathematik und Naturwiss., Diss. 1984 |
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| Beschreibung: | V,110,4 Bl |