Auswirkungen des Abbremsvorganges von Ionen in dünnen Schichten untersucht mittels KARMA am Beispiel der Hochdosisionenimplantation, der Dosisabhängigkeit der Zerstäubungsausbeute und der Verbreiterung von Grenzschichten (KARMA: Kombinierte Auger-Röntgen-Mikroanalyse)

Zugl.: Bonn, Univ., Diss., 1980

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Etzkorn, Heinz-Werner (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Jülich Zentralbibliothek d. Kernforschungsanlage 1981
Ausgabe:	Als Ms. gedr
Schriftenreihe:	Berichte der Kernforschungsanlage Jülich 1698
Schlagworte:
Online Zugang:	Freie elektronische Version
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