Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics symposium held November 29 - December 1, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A.

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Materials Research Society (BerichterstatterIn), Symposium on the Chemical Vapor Deposition of Refractory Metals and Ceramics (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Besmann, Theodore M. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. Materials Research Soc. 1990
Schriftenreihe:Materials Research Society symposium proceedings 168
Schlagworte:
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:XIII, 399 S
Ill., graph. Darst
ISBN:1558990569
1-55899-056-9