Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics symposium held November 29 - December 1, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A.
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Körperschaften: | , |
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Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Pittsburgh, Pa.
Materials Research Soc.
1990
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Schriftenreihe: | Materials Research Society symposium proceedings
168 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Beschreibung: | Literaturangaben |
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Beschreibung: | XIII, 399 S Ill., graph. Darst |
ISBN: | 1558990569 1-55899-056-9 |