Proceedings of the Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Dielectrics and Insulation Division, Electrochemical Society (BerichterstatterIn), Electronics Division, Electrochemical Society (BerichterstatterIn), High Temperature Materials Division, Electrochemical Society (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Bibyk, Steven B. (HerausgeberIn), Kapoor, Vik J. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, N.J. 1989
Schriftenreihe:	Proceedings Volume. Electrochemical Society 89-7
Schlagworte:
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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