Mikrostrukturierung, Mikromechanik für die Sensorik

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Heuberger, A. (VerfasserIn)
Körperschaft:	Fraunhofer-Institut für Mikrostrukturtechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Benecke, W. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	Berlin 1988
Schlagworte:
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Beschreibung
Beschreibung:	Teilw. zugl. ersch. in: Technologietrends in der Sensorik. S. 109-166
Beschreibung:	142 S