Entwicklung der Grundlagen für Trockenätzprozesse mit dem Ziel einer Auflösung unter 0,5 [my]m Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 1.5.1985 - 31.12.1987 ; Contract NT-2686-Q

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Fraunhofer-Institut für Mikrostrukturtechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Baumgärtel, H. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin 1988
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