Theoretical analysis of the electrode sheath in RF discharges
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Format: | UnknownFormat |
Veröffentlicht: |
Bochum
1988
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Schriftenreihe: | Sonderforschungsbereich 162 Plasmaphysik Bochum/Jülich, Ruhr-Universität Bochum. Universität Düsseldorf, Gesamthochschule Essen, KFA Jülich GmbH
88-O2-179 |
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