Theoretical analysis of the electrode sheath in RF discharges

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Riemann, K.-U. (VerfasserIn)
Körperschaften:	Sonderforschungsbereich 162 - Plasmaphysik Bochum/Jülich, Ruhr-Universität Bochum (BerichterstatterIn), Deutsche Forschungsgemeinschaft (BerichterstatterIn), Institut für Theoretische Physik, Ruhr-Universität Bochum (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	Bochum 1988
Schriftenreihe:	Sonderforschungsbereich 162 Plasmaphysik Bochum/Jülich, Ruhr-Universität Bochum. Universität Düsseldorf, Gesamthochschule Essen, KFA Jülich GmbH 88-O2-179
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